應(yīng)用領(lǐng)域: HMDS預(yù)處理真空烤箱用于在涂膠前對晶片進(jìn)行預(yù)處理。設(shè)備由腔體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空，150oC熱氮加熱，既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散，并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護(hù)膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復(fù)性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對人體無害的顯著優(yōu)點(diǎn)；也可用于晶片其它工藝的清洗。控制采用PLC，人機(jī)界面采用觸摸屏，具有可靠性高，操作方便
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1 微電腦智能控溫系統(tǒng)，具有PID邏輯運(yùn)算功能，控溫精準(zhǔn)可靠。雙排數(shù)顯，一屏顯示運(yùn)行溫度和設(shè)定溫度。操作界面人性化設(shè)計(jì)，簡單易懂，操作便捷。
2 采用PLC可編輯式真空顯示器。
3 泵箱一體機(jī)，真空泵自動控制?？刂葡到y(tǒng)模塊化，安全穩(wěn)定高效。突發(fā)情況（如停電）參數(shù)自動保存，來電恢復(fù)功能，自動診斷功能，故障及超溫報警功能，定時功能等。
4 外殼采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板，進(jìn)口數(shù)控激光鈑金設(shè)備精密加工而成，線條流暢，外觀優(yōu)美。表面靜電鍍膜噴涂，漆面牢固持久，不脫色。內(nèi)膽采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼。
5 內(nèi)膽采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼。四角為半圓弧設(shè)計(jì)，方便清潔消毒。擱板間距可上下調(diào)節(jié)，空間利用更充分。
6 加熱元器件分布在均勻分布在內(nèi)膽外壁，加熱充分，溫度均勻度優(yōu)。
7 門密封采用優(yōu)質(zhì)一次成型硅膠密封圈，耐高溫，抗老化，密封效果達(dá)到最優(yōu)。
8 超大觀測窗，外層采用透光度96%的亞克力板，內(nèi)層采用強(qiáng)化加厚鋼化玻璃，透明度高，觀測清晰，視角無阻礙，觀測直觀清楚。
9 可根據(jù)客戶要求加裝以下配件：液晶程序控制器、獨(dú)立限溫控制系統(tǒng)、外聯(lián)端口（485或USB）打印系統(tǒng)、惰性氣體充氣閥、惰性氣體 控制系統(tǒng)等。
廠商 | 型號 | 峰值抽速 | 價格 | 貨期 | 是否進(jìn)口 |
Edwards | nXds15i | 15.1 m3h~1 / 8.9 f^min-1 | 4.3萬 | 3周 | 是 |
廠商 | 型號 | 峰值抽速 | 價格 | 貨期 | 是否進(jìn)口 |
Agilent | Triscorll300 | 210（l/min） | 4.5萬 | 5周 | 是 |
廠商 | 型號 | 峰值抽速 | 價格 | 貨期 | 是否進(jìn)口 |
鮑斯 | GSP-3 | 12 m3h~1 | 2.8萬 | 2周 | 否 |
